集微网消息，本周，上海新昇新增设备招标9台，上海积塔半导体新增设备招标70台，燕东微电子新增设备招标23台；北方华创新增中标设备2台，ASML新增中标设备2台，上海微电子新增中标设备4台，Lam Research（泛林半导体）新增中标设备7台。
重要招标数据：
本周招标107台设备，其中，刻蚀设备18台，CVD1台，工艺检测17台，离子注入11台，热处理5台，清洗设备27台，其他设备28台。
重要中标数据：
本周中标36台设备，其中，刻蚀设备3台，CVD2台，工艺检测15台，离子注入2台，CMP5台，热处理1台，清洗设备2台，其他设备6台。
本周重点企业动态：
近日，据东方卫视报道，上海积塔半导体目前整个公司的开工率在90%以上，临港厂区产能在扩张中；本周，比利时微电子研究中心宣布其永续半导体技术与系统研究计划成功汇集了半导体价值链的关键成员，ASML、微软等巨头参与。
以下是本周部分招标信息汇总：
以下是本周部分中标信息汇总：
（校对/若冰）
